川崎超级绿色产品“width=

清洁机器人NT420

首页注册:2015年
高度=“410

生产领先的紧凑,轻巧的清洁机器人,用于高速,高精度晶圆处理操作

高度=“410

宽门范围消除了对横向单元的需求,该机器人是行业中最紧凑,轻质的单位之一,并通过现有型号将能耗降低约40%。它还通过现有型号将运输和包装体积减少75%。

产品描述

该机器人具有高度刚性的齿轮系,该机器人提供高速,高精度的晶圆处理,能够进入两到四个前开放式统一吊舱)

特殊功能